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超純水設備生產出的水為何可以提高半導體產業的生產質量

時間:2024-03-07

  半導體產業是我國電子信息產業的重要組成部分,近年來發展迅速。我國半導體產業的主要產品包括芯片、半導體器件、半導體材料等,應用范圍廣泛,包括計算機、通信、消費電子、汽車、工業控制等領域。我國半導體產業的發展經歷了從引進到自主研發的過程,現在已經具備了一定的技術實力和規模優勢,除了國內市場外,還積極發展海外市場。

  半導體清潔程度對于產品質量至關重要,能直接影響到產品的安全性和可靠性。半導體清潔不徹底會導致晶圓表面的雜質含量增加,從而影響到電子元件的工作性能和壽命。在半導體生產中,常常會進行蝕刻、切割、焊接等工藝,會造成半導體表面產生各種雜質。這些雜質成分的清洗需要采用到高純度的超純水,才能避免對半導體造成污染。

超純水設備

  超純水成分簡單,除了氫原子和氧原子之外,基本不含有任何有機物、金屬離子、鹽分、細菌和微生物。應用超純水清洗半導體不但可以去除半導體表面的污垢,也不用擔心對其造成腐蝕和污染。超純水設備是生產這種超純水的專用設備,采用了“反滲透+EDI+拋光混床”的技術工藝,生產超純水連續穩定,生產過程無污染、能耗低。

  反滲透膜可以有效分離去除超純水中除了氫氧原子之外的雜質成分,是一種物理分離方式。EDI技術能實現帶電荷運行,加快離子遷移速度,實現超純水深度脫鹽。拋光混床工藝處理有力保障超純水設備出水質量,使出水質量達到18MΩ*cm(25℃)。

  超純水設備生產超純水質量可靠,應用在半導體行業中能確保產品質量,降低產品報廢率,從而提高半導體產業的整體效益,對促進我國半導體科技發展有重要價值。

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  編輯:新奇   技術:加菲

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